无锡光子芯片联合研究中心关于i-line光刻机采购项目（招标预告）-无锡招标网

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****光子芯片联合研究中心关于*-****光刻机采购项目的征求意见公告

*、采购人信息

名称：****光子芯片联合研究中心

地址：****省****市****区建筑西路***-*号***-**室

采购单位联系人：****

联系电话：***********

*、采购项目名称：*-****光刻机采购项目

*、采购品目代码及名称：********* 电子工业生产设备

*、公告期限

公告开始期限：****年*月*日

公告结束期限：****年*月*日

*、意见反馈时限

反馈开始时间：****年*月*日

反馈结束时间：****年*月*日

****光子芯片联合研究中心

****年*月*日

采购需求-*-****光刻机采购项目.***

采购需求

*、项目概况

*、采购内容：采购*台*-****光刻机。具体内容及要求详见“*、采购需求”。

*、交货期：**日历天。误期违约金：****元/天。

*、质量要求：合格，满足采购人使用要求。

*、本项目核心产品为载台和镜头。

技术参数要求详见下表：

序号	测试项目	测试标准
★*	** * ***********自动聚焦重复性	+/-.***
★*	*** ******* ***********聚焦测量重复性	≤.****
★*	** ****** (*** ***********)镜头畸变	****** +/-.***
*	** *******镜头稳定性	****** .***
★*	***** * *** ******挡板设置精度	+. ** +. *******
*	****** **曝光面积	*********
★*	****** ***曝光能量	* /* ****
*	******** **** ****综合曝光控制.**/* *.*/* **	)***** +/-%)****** +/-.%
★*	********** *******照明均性	****** .%
★**	***** ******板旋转	+≤****
**	*** ***********直交度	****** +/-.***
★**	****** *******步进精度	****** .**()
★**	******* ******定位精度	\|\|+&*;.*** \|\|+&;.*** *
**	****** **步进率	* **
★**	*** -****** ***********圆片预定位重复性	 &;***
★**	** **** ******找平精度	****** +/-.***
**	**********解像力	.***
**	****镜头焦深	≥.μ*
**	****** 均匀性	≤****
★**	*** 焦面	≤.μ*
★**	*** 场曲率	≤.μ*
**	****彗星像差	＜.****
★**	** * *******长期聚焦稳定性	.***** ±.***
★**	*********** *** . ** ****. *****效应	****** .****

*、其他要求

*、维修保证

（*）配件质保期：自验收合格后**个月。

（*）在质保期内，故障发生后，要求供方在接报后*小时内响应，**小时之内到达现场排除故障；须提供故障不能排除时的解决方案。

*、验收标准：供方提供的商品必须符合我国最新颁布的与之相关的技术规范与标准，同时必须满足招标书中所列全部规格、型号、具体配置、技术条件及功能要求和供方承诺的其它指标。

*、货物到达需方地址至验收合格期间，由供方负责保管，若因保管不当造成的质量问题，供方应负责修理，同时有关费用由供方承担；货物经验收合格后即由需方负责保管，若因保管不当造成的质量问题，供方应负责修理，但有关费用由需方承担。

*、产品交货时，包装应完整无破损，同时必须提供以下材料：

（*）装箱单；

（*）产品质检合格证明；

（*）需要提供维护手册、维修手册、软件备份、故障代码表、备件清单、*部件、维修密码等维护维修必需的材料和信息。

*、运输及到货地点：由供方负责办理运输及装卸，直接送至需方所在地，所有费用由供方承担。

*、安装、调试及售后服务：在货物到达需方地点后,供方应在*天内派技术人员到达现场,提供安装、调试等服务,并协助需方组织验收；供方负责本次采购设备的免费安装、调试（安装调试过程所需耗品应由供方免费提供），保证培训人员正常操作该设备的各种功能。供方提供设备操作规范张贴设备上，提供设备操作规范电子档交于需方。

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所属地区	江苏 - 无锡 - 滨湖	预算金额	点击查看
项目编号	点击查看	投标截止日期	点击查看
招标单位	无锡********中心点击查看	招标联系人/电话	点击查看
代理机构	点击查看	代理联系人/电话	点击查看

序号	测试项目	测试标准
★*	** * ***********自动聚焦重复性	+/-.***
★*	*** ******* ***********聚焦测量重复性	≤.****
★*	** ****** (*** ***********)镜头畸变	****** +/-.***
*	** *******镜头稳定性	****** .***
★*	***** * *** ******挡板设置精度	+. ** +. *******
*	****** **曝光面积	*********
★*	****** ***曝光能量	* /* ****
*	******** **** ****综合曝光控制.**/* *.*/* **	)***** +/-%)****** +/-.%
★*	********** *******照明均性	****** .%
★**	***** ******板旋转	+≤****
**	*** ***********直交度	****** +/-.***
★**	****** *******步进精度	****** .**()
★**	******* ******定位精度	\|\|+&*;.*** \|\|+&;.*** *
**	****** **步进率	* **
★**	*** -****** ***********圆片预定位重复性	 &;***
★**	** **** ******找平精度	****** +/-.***
**	**********解像力	.***
**	****镜头焦深	≥.μ*
**	****** 均匀性	≤****
★**	*** 焦面	≤.μ*
★**	*** 场曲率	≤.μ*
**	****彗星像差	＜.****
★**	** * *******长期聚焦稳定性	.***** ±.***
★**	*********** *** . ** ****. *****效应	****** .****